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Product Name	Low Noise Thermal Chuck System
Available Upper Temperature Limits	Ambient up to 300℃
Available Low Temperature Limits	Room Temp. 25℃
Chuck Temperature Display Resolution	0.1℃
Temperature Accuracy	±0.1℃
제품특징	고온에서 노이즈 최소화
제품문의	제품 관련 상세 문의는 메일 또는 유선 연락 요망 utcmail@naver.com/Tel. 031-777-8222

제품 개요(Product Overview)

HC 3000 Thermal Chuck System은 프로빙 스테이션에서 고정밀 온도 제어와 저잡음 측정을 위해 설계된 척 시스템입니다.

높은 절연 성능, 낮은 정전용량, 빠른 온도 응답 특성을 갖춰, 반도체 및 전자소자 테스트에 최적화되어 있습니다.

Low noise hot chuck system

주요 특징 (Features)

-초저잡음 성능 (Super Low Noise Performance)

-고절연 척 (High Isolation Chuck)

-낮은 정전용량 (Low Capacitance)

-빠른 온도 사이클링 (Fast Cycling Time)

-우수한 온도 균일도 (Superior Temperature Uniformity)

-모듈형 구성 (Modular Configuration)

제품 구성(Configuration)

-고온 전용(How Temp only)

-고온/저온 겸용(Hot and Cold Temp)

-DC driven source(Low Noise)

-AC driven source(Economical)

-Coaxial Chucks(Normal Chuck)

-Triaxial Chunk(Low Noise)

Hot chuck system Low noise hot chuck Hot chuck controller

상세 설명(Thermal Chuck Specification)

Temperature Range and Uniformity

- Total -50 deg to 399 deg

- Temp at -15 deg: +/- 2.5%

- Temp at 20 to 250 deg: +/- 1.5%

Offset+Leakage+Noise(Coaxial Chuck)

- < 100 pico levels at 200 deg C

Electrical Isolation Ambient :

- Surface to ground : >100 Gohm(Coax), >5Tohm Tri

- Surface to guard : > 5Tohm(Triax)

- Guide to ground : > 5Tohm(Triax)

Electrical Isolation at max temp :

- Surface to ground : >10 Gohm(Coax), >1Tohm Tri

- Surface to guard : >5Tohm(Triax)

- Guide to ground : >5Tohm(Triax)

Chuck Capacitance :

- Surface to ground : Coax/Triax: <200pf - <500pf

- Surface to guard : Triax: <50pf - <500pf

Vertical expansion into probes <10 um(Ambient) < +/-12.5um throughout temp range

Heating Controller

Cooling Controller(Option)