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Ultra High Temperature Semi-Auto Probe Station NEW

제품명 Ultra High Temperature Semi-Auto Probe Station
Temperature range -300 K ~ 1000 K
-150 K ~ 1000 K (with liquid nitrogen cooling)
-Different ranges available upon request
Base pressure <10⁻³ Torr (optionally 10⁻⁶ Torr) at room temperature
Wafer chuck Grounded (GND),Isolated (floating),Coaxial,Triaxial
Camera 1M~10M cameras available, 5MP camera is standard
Vibration isolation Vibrations at the chuck: < ±300 nm
브랜드 Unitek System Inc.
제품 문의 제품 관련 상세 문의는 메일 또는 유선 연락 요망
utcmail@naver.com/Tel. 031-777-8222

제품 개요(Product Overview)
CPS-XXX-HT-PLUS는 진공 또는 제어된 가스 분위기에서 최대 700 °C(진공),
650 °C(가스 환경) 까지 테스트할 수 있는 초고온 반자동 프로브 스테이션입니다.
고온에서도 안정적인 DC 및 RF 테스트가 가능하며, 반도체 소재·소자 특성 평가에 최적화되어 있습니다.

주요 사양 (Standard Specifications)


주요 특징 (Features)

  • 초고온 테스트 지원

    • 진공 상태에서 +700 °C, 가스 환경에서 +650 °C까지 동작

    • 고온 안정성과 재현성이 뛰어나 반도체, 센서, 재료 테스트에 적합

  • 넓은 샘플 사이즈 지원

    • 100 mm(4인치) 또는 200 mm(8인치) 웨이퍼 테스트 가능

  • 고정밀 DC / RF 측정

    • Sub-nA 수준의 누설전류 측정

    • 최대 50 GHz RF 테스트 지원

  • 정밀한 프로브 제어

    • 4~8개의 미세 조작용 프로브 암(micromanipulator) 제공

    • 안정적인 진동 제어(척 진동 ±300 nm 이하)

  • 시각화 및 관찰 시스템

    • Quartz 또는 Fused Silica 뷰포트 제공

    • 냉각식 방사 차폐 (water-cooled radiation shield) 기본 장착

  • 높은 신뢰성과 사용자 친화성

    • 반자동 제어로 효율적이고 일관된 테스트 가능

    • 고객 요구에 맞춘 커스터마이징 지원


    • 제품 상세 카달로그(Product Catalog)



    Ultra-High Temperature Semi-Automated Probe Stations CPS-XXX-HT-PLUS_En_1.jpg

    Ultra-High Temperature Semi-Automated Probe Stations CPS-XXX-HT-PLUS_En_2.jpg