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Ultra-High Temperature Manual Probe Station NEW

제품명 Ultra-High Temperature Manual Probe Station
Temperature range -300 K ~ 1000 K
-150 K ~ 1000 K (with liquid nitrogen cooling)
-Different ranges available upon request
Base pressure 10⁻⁵ Torr (optionally 10⁻⁷ Torr) at room temperature
Wafer chuck Grounded (GND),Isolated (floating),Coaxial,Triaxial
Camera 1M~10M cameras available, 5MP camera is standard
Vibration isolation Uses air pistons, edge-welded bellows, and pumpline isolation
브랜드 Unitek System Inc.
제품 문의 제품 관련 상세 문의는 메일 또는 유선 연락 요망
utcmail@naver.com/Tel. 031-777-8222
제품 개요(Product Overview)
CPS-XXX-HT는 최대 700°C(진공 상태), 650°C(가스 환경)까지 동작이 가능한
초고온 수동형 프로브 스테이션으로, 반도체 및 재료 특성 분석을 위한 고온 전기적 테스트에 최적화된 장비입니다.
진공 또는 제어된 가스 환경에서 안정적이고 재현성 높은 측정이 가능하며, DC 및 RF 테스트 모두 지원합니다.

주요 사양 (Standard Specifications)



주요 특징 (Features)

  • 비용 효율적이고 안정적이며 사용이 간편한 설계

  • 25 mm, 50 mm, 100 mm 웨이퍼 테스트 지원

  • 극한 온도 테스트 가능

    • -진공 환경: 최대 +700°C

    • -제어된 가스 환경: 최대 +650°C

  • 폭넓은 측정 지원

    • -Sub-nA 수준의 초미세 전류(DC) 측정

    • -최대 50 GHz까지의 RF 테스트 지원

  • 고정밀 마이크로 매니퓰레이터 장치

    • -4~8개의 프로브 암 구성

    • -진동 차단 성능: 척 진동 ±300 nm 이하

  • 쿼츠(Quartz) 또는 용융 실리카(Fused Silica) 재질의 뷰포트

  • 워터쿨드 방사 차폐(Water-cooled Radiation Shield) 적용으로 안정적인 열 제어

  • 고객 요구에 맞춘 맞춤형 설계(Customization) 가능


제품 상세 카달로그(Product Catalog)


Ultra-High Temperature Manual Probe Station CPS-XXX-HT_En_1.jpg

Ultra-High Temperature Manual Probe Station CPS-XXX-HT_En_2.jpg