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제품 설명
8" Manual Probing Station for IV/CV프레임: 200mm x 200cc X-Y Stage moving coaxial with rotation, Manual drive- 8” Vacuum stage
악세사리: 현미경: Zoom 6000-TRI-V2: Fine Zoom Coaxial Microscope
CCD 카메라 : WM-154-F: Vision System, Mega Pixel Digital Camera
미세조정기: MP4-500VM : Micro-positioner, Left/Right-handed, Megnetic or Vacuum
홀더: 79-6000-R-03 : Coaxial general Probe Holder
프로브팁: 7X: Disposable probe point, 0.1 micron target - 0.1 micron point radius, 20mil sink, tungsten shank(Box of 10)
방진테이블: DVID-HD-100: Pneumatic Isolation Vibration Table
저소음컴프레셔: Low Noise Air Compressor: DAC-60S
저소음베큠펌프: DPV-72: Oilless Low noise Vacuum Pump, 15L, 220VAC
주요 특징
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-정밀 스테이지: 200mm X-Y 매뉴얼 스테이지와 회전 기능, 8인치 웨이퍼 대응 진공 스테이지 탑재
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-고해상도 관찰 시스템: Coaxial Zoom 현미경과 메가픽셀 디지털 CCD 카메라로 미세 구조까지 선명한 영상 제공
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-정밀 프로빙: 양손 사용이 가능한 마이크로 포지셔너와 Coaxial 프로브 홀더를 통해 안정적인 미세 접촉 지원
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-초정밀 프로브 팁: 0.1μm 포인트 반경의 텅스텐 프로브 팁으로 고정밀 IV/CV 측정 가능
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-안정된 테스트 환경: 공압식 방진 테이블, 저소음 에어 컴프레셔 및 오일리스 저소음 진공펌프로 노이즈 최소화