“8인치부터 12인치까지 대형 웨이퍼 테스트를 위한 정밀·컴팩트 솔루션”
제품설명
12inch∼8inch Wafer capable
Cross roller bearing way construction for 1.5㎛∼2.5㎛
Probe card holder capability
Image Capture option for CCD Vision system(Option)
Compact and small footprint
Anodized structure & Permanently panelized stage
Free-movement of scope-head for observation
Range of travel is 1.0’ with 1.0’microscope travel
Fast lift platen and fine via lift lever positioned at the
both side of probe station
주요특징
8~12인치 웨이퍼 대응: 다양한 사이즈 웨이퍼 테스트 지원
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고정밀 스테이지: Cross roller bearing 구조로 1.5~2.5㎛ 정밀도 확보
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프로브 카드 호환: Probe Card Holder 탑재 가능
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옵션 확장성: CCD 비전 시스템을 통한 영상 캡처 옵션 제공
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컴팩트 설계: 소형 풋프린트, 아노다이징 구조, 패널 고정 스테이지
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유연한 관찰 시스템: 스코프 헤드 자유 이동 및 1.0’ 범위 이동
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사용자 친화적 조작: 빠른 리프트 플래튼과 양측 미세 리프트 레버 배치
브랜드 & 문의처