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세부사항
“정밀 제어와 최적의 현미경 솔루션을 제공하는 8인치 매뉴얼 프로브 스테이션”
주요특징
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수동 스테이지 드라이브: Coaxial 회전 스테이지, 매뉴얼 플래튼 이동, 4포인트 Z축 미세 제어
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편리한 조작: 좌측 레버를 통한 빠른 리프트 기능
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최적의 현미경 시스템: A-Zoom 2(10X), 스코프 헤드 자유 이동, CCD 비전 시스템 옵션, 1.0" 트래블 범위
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충분한 척 사이즈: 200mm(8인치) 웨이퍼 지원, 컴팩트한 벤치탑 사이즈
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정밀 스테이지 구조: Cross roller bearing way (1.5~2.5㎛ 정밀도)
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확장성 있는 옵션: Probe Card Holder, 다양한 포지셔너 및 프로브 홀더 호환 가능
제품 설명
4가지 Fine Moving Stage
-Moving coaxial stage with rotation
-Manual Platen movement with fine control
-Aluminum platen with 4 point drive with fine control "Z"
-Fast lift via left lever positioned at the left side of probe station
최적의 Microscope 솔루션 제공
- Microscope travel range 1.0" with 1.0"
- Image Capture option for CCD Vision system
- Free-movement of scope-head for observation
충분한 공간의 Chuck size
- 8 inch Wafer capable
- Personal test benchtopsize
- Cross roller bearing way construction for 1.5㎛∼2.5㎛
기타 옵션 장착 가능
- Probe card holder
- 여러 종류의 Probe positioner, probe holder
최적의 정밀도 마이크로포지셔
- X-Y-Z-Z' 축 +틸팅 5가지 Movement 제공
- 진공/마그넷 타입
- 최상의 정밀도 제공