12" Probe Station(9000 Series)
특징 (Features)
웨이퍼 대응: 200~300 mm 웨이퍼 레벨 기술
제어 방식: Micro Touch 노브로 수동/세미 자동 제어 가능
편리성: Keypad/Pendant 기본 제공, 별도 PC 소프트웨어 불필요
측정 안정성: Low Current Probing Shield Chamber 적용
웨이퍼 보호: Loading/Unloading Tray로 손상 방지
정밀도: Glass Scale, Encoder Read Head, Laser Calibration
내구성: T-51 알루미늄 합금 캐스팅 & 진동 방지 Damping Filler Casting