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12" Probe Station(9000 Series) HIT

특징 - 200 ~ 300 mm Wafer level technology
- Micro Touch knobs for Manual/Semi-auto control
- Keypad/Pendant 기본사양/별도 PC Software 없이 사용가능
- Low Current probing shield chamber
- Wafer loading-unloading tray 사용으로 Wafer 파손방지
- Glass scales, Encoder read head and Laser Calibration
- T-51 Aluminum ally Casting 사용으로 stability and vibration 최대화
- 진동 방지를 위한 vibration damping filler casting 사용
장점 - Manual/Motorized/programmable Station - MicroTouch
- 일체형 Shield Chamber for Low current probing
- Wafer Loading/Unloading Tray
- 2 Point Alignment & 10 - 99 memory locations
- Platen Up/Down 기능 Push Buttons
- 300mm Wafer Load/Unload 기능
- Jog & Index Push buttons & Program으로 간편사용
- Auto handler Compatible
- PC Align: Pattern Recognition and Auto Alignment Software
- PC Focus: Auto Focus Software
- PC Turret: Objective par-centering software
Application - Semiconductor memory devices
- MMIC devices
- LSI and Microwave devices
- RF and Microwave measurement
- Low current and low capacitance test
- Wafer level Reliability test
옵션 - Backside Probing application
- Thermal Chuck system
- Full auto test 을 위한 Auto Wafer Handler Option
- Low Leakage Thermal Chuck/Light tight enclosure/Anti-vibration table
- Laser cutting option
세부사항

12" Probe Station(9000 Series) 


특징 (Features)

  • 웨이퍼 대응: 200~300 mm 웨이퍼 레벨 기술

  • 제어 방식: Micro Touch 노브로 수동/세미 자동 제어 가능

  • 편리성: Keypad/Pendant 기본 제공, 별도 PC 소프트웨어 불필요

  • 측정 안정성: Low Current Probing Shield Chamber 적용

  • 웨이퍼 보호: Loading/Unloading Tray로 손상 방지

  • 정밀도: Glass Scale, Encoder Read Head, Laser Calibration

  • 내구성: T-51 알루미늄 합금 캐스팅 & 진동 방지 Damping Filler Casting