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8" Probe Station (4000 Series) HIT

특징 - Basic manual probing application Model 4060--Fully Manual Prober
- Precise (direct-drive lead screw / 4-point platen support) Model 4065--Motorized Prober
- Stable (physically, and thermally) Model 4460--Semi-Auto Prober
- Intuitive (Customers really like the Y knob moving!)
- Efficient (Our trademark open design, simple microscope up lock)
- 6" x 6" or 8" x 8" direct-drive lead screw
- stage drive with 1" X traveling 1" Y
- Manual 15 degree theta control
- 4 point platen fine lift control
- Platen fast lift with standard handle
- 4" x 4" (was 2" x 2") scope X -Y drive
- Microscope up lock standard
Performance 특징 - Stage resolution 1.0 micron
- Manual 15 degree range 64 TPI theta control
- Direct drive stage control is very precise with
excellent tactile feedback
장점 - Basic manual probing applications
- Analytical probe card probing
- Limited Budgets
Application - Failure Analysis
- Reliability Testing (wafer and packaged parts)
- Device Characterization (without low current) Process Monitoring (CV, GOX testing)
- Low current capability, extreme precision positioning 이 요구되지 않는 곳
- Microwave, high volume analytical testing and process monitoring on test pads when conducting CV, Electromigration, Thin Film Probing and Reliability Testing
세부사항

Probe Station Series (Models 4060 / 4065 / 4460)


특징 (Features)
이 시리즈는 다양한 연구 환경에 맞춘 수동, 모터드, 세미 자동 프로버를 포함합니다.

  • Model 4060: 기본적인 수동 프로빙용 장비

  • Model 4065: 정밀한 모터드 프로버, 직접 구동 리드 스크류와 4점 플래튼 지지 구조 적용

  • Model 4460: 세미 자동 프로버, 물리적·열적 안정성 우수, 직관적 설계

장비는 6"x6" 또는 8"x8" 직접 구동 리드 스크류, X·Y 스테이지 이동 1"x1", 수동 15도 θ 제어, 4점 플래튼 미세 리프트, 플래튼 빠른 리프트, 4"x4" 스코프 X-Y 드라이브를 지원하며, 스코프 업 락(Microscope Up Lock) 기능이 기본 제공됩니다.


성능 (Performance)

  • 스테이지 해상도: 1.0 μm

  • 수동 15도 범위 θ 제어

  • 직접 구동 스테이지의 정밀 제어와 탁월한 촉감 피드백


장점 (Benefits)

  • 기본 수동 프로빙 및 분석용 프로브 카드 프로빙 가능

  • 제한된 예산 환경에서도 적합


응용 분야 (Applications)

  • 생산 불량 분석(Failure Analysis)

  • 웨이퍼 및 패키지 부품 신뢰성 시험(Reliability Testing)

  • 장치 특성 평가(Device Characterization) 및 공정 모니터링(CV, GOX 테스트)

  • 저전류나 극도로 정밀한 위치 제어가 필요하지 않은 환경

  • 마이크로웨이브, 대량 분석 테스트, 테스트 패드에서 CV, 전기 이동(Electromigration), 박막 프로빙, 신뢰성 시험 등

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