Wafer Level Probe Station (6~8" Wafer)

이 장비는 저전류·저노이즈 테스트를 위해 단일 접지(Single point grounding) 구조를 채택하였으며, 스테인리스 스틸 플래튼과 4점 지지 리프트를 적용해 견고하고 안정적인 측정을 보장합니다.
현미경은 독립 리프트 및 잠금 기능을 갖추고 있어 정밀한 관찰과 측정이 가능하며, 6~8인치 웨이퍼 레벨 기술을 지원합니다. 또한 Platen Fine Lift 기능으로 샘플을 항상 초점에 유지할 수 있습니다.

장비는 Manual, Motorized, Programmable microscope를 지원하며, 원격 제어 가능한 프로그래머블 매니퓰레이터와 Semi-auto wafer mapping 및 CAD 기능을 제공해 효율적인 운용이 가능합니다. 스테이지는 ±1.5 μm 정밀도와 반복 정확도를 갖추고 있으며, 필요 시 MicroTouch Control 옵션을 사용할 수 있습니다.

응용 분야는 생산 불량 분석(Failure Analysis), 웨이퍼 레벨 신뢰성 시험, 마이크로웨이브 측정, 연구실/분석용 등 다양한 테스트 환경에서 활용 가능합니다.

옵션으로는 Backside Probing, Thermal Chuck System, Low Leakage Thermal Chuck, Light Tight Enclosure, Anti-vibration Table, Image & Video Systems, 8800-ISE Light Tight Enclosure, Laser Cutting System 등이 제공되어 연구 목적과 환경에 맞게 확장이 가능합니다.