-초고정밀·고효율 테스트 : 인덱스 타임  ≤ 500ms

-높은 반복성, 낮은 테스트 비용 : ≤±1μm 수준의 테스트 정확도

-멀티 뷰 광학 시스템 : 15:1~3:1 줌 현미경으로 저배율~고배율 동시 표시

-저소음 설계 : 소음 50dB 이하, 안정적 테스트 환경 제공

-넓은 적용 범위 : SiC, GaN 등 고전력 웨이퍼 테스트 지원

-넓은 온도 범위 : -60°C~300°C (요청 시 맞춤 가능)

-맞춤형 설계 지원 : 고전력, RF, 1/f 노이즈 등 다양한 테스트 통합 가능

-고속 기구 시스템 : 최대 이동 속도 ≥70mm/s

1. 업계 최고 효율의 CHUCK 시스템 - 테스트 효율 40% 이상 향상                       

1) 초고속·초정밀 테스트 성능                                                                   

• · 최대 70 mm/s 이동 속도                                                                                    

• · 위치 정밀도 ±1 μm, 응답 속도 500 ms                                                          

• · 경쟁사 대비 테스트 효율 40% 이상 향상                                                          

2) 초광역 온도 테스트: -60°C ~ +300°C                                                         

• · 업계 최고 수준의 온도 범위                                                                                 

• · 제어 정밀도 ±0.08°C 이하                                                                                    

• · 극저온·고온 환경에서도 안정적인 웨이퍼 테스트 제공                                     

3) 고속 안정성을 위한 4D 저중심 설계

• · 컴팩트한 4D(X-Y-Z-θ) 모션 구조

• · 고속 이동에서도 흔들림 최소화

• · 반복 테스트의 정밀성과 안정성 강화

2. Triple-Zoom 이미징 시스템

3단 줌 특허 광학 기술(120×~2000×)을 적용하여
프로브 팁, 미세 패드, Fine 패턴을 더욱 선명하고 정확하게 관찰할 수 있습니다.

• · Dual Basler 2M 고속 CCD + Mitutoyo 고해상도 카메라

• · 23” 디스플레이로 실시간 고해상도 영상 제공

• · 정밀 포지셔닝·고배율 관찰·동적 모니터링을 위한 최적의 이미지 품질

정확한 어라인, 빠른 작업성, 뛰어난 시각화 성능을 제공하는
업계 최고 수준의 이미징 솔루션입니다.

3. Auxiliary CHUCK Module - 실리콘 웨이퍼 안전 로딩 시스템

1)업계 유일의 독자 XY축 설계

일반적인 프로브 스테이션은 적층 플레이트(라미네이트) 구조의 저항 때문에

XY 축 이동 시 흔들림이나 정밀도 저하가 발생하는 경우가 많습니다.

 독자적인 XY축 구조를 적용해

• · 라미네이트의 영향 없이 부드럽고 안정적인 이동

• · 더 높은 위치 정밀도와 반복성을 실현했습니다.

• 
  

2) 빠르고 안전한 웨이퍼 로딩 구조

UNITEK SYSTEM의 프로브 테이블은
챔버를 한 번 열면 Chuck 전체를 370mm 길게 당겨낼 수 있는 구조로 설계되어

Chuck 회전 각도가 타사 대비 넓어

• ·   웨이퍼 위치 맞추기(수동 레이아웃)가 쉽고

• ·   작업 유연성과 편의성이 크게 향상됩니다.

4. O- 타입 니들 시트 플랫폼 설계

UNITEK SYSTEM의 프로브 테스트 시스템은 O-타입(원형) 니들 시트 플랫폼 구조를 적용하여
플랫폼 공간을 가장 효율적으로 활용합니다.

• ·   동시에 최대 12개의 니들 시트 장착 가능

• ·   기존 방식 대비 약 50% 증가된 수용 수량

• ·   더 많은 프로브를 한 번에 배치할 수 있어
  테스트 효율과 처리 속도를 크게 향상

효율적 공간 활용과 고채널 테스트 환경에 최적화된
고성능 니들 시트 플랫폼 설계입니다.

5. 에어필름 충격 흡수 시스템

업계에서 유일하게 고성능 에어 필름(공기막) 진동 흡수 시스템을
장비 내부에 통합하고, 외부에는 이중 아이솔레이션 구조를 적용했습니다.
이를 통해 사용자의 터치나 주변 진동으로 인해 발생하는 흔들림을 효과적으로 차단합니다.

• 
  

• ·   내부 에어 필름 + 외부 이중 진동 차단 구조
  → 작업자 접촉 진동까지 효과적으로 흡수

• ·   장기 에이징된 고강성 주물 기반 구조
  → 업계 최고 속도(1초 이내 이동)에서도 흔들림 억제

• ·   2000× 고배율 확대 시에도 화면 흔들림 없음
  → 미세 패턴 및 프로브 팁 정렬 시 안정성 보장

• ·   고정밀 제어 밸브 적용 (높이 오차 0.1 mm 이내)
  → 고속 DIE-to-DIE 이동 시에도 정밀도 유지

• 고속 이동 중에도 시스템 안정성을 유지하며

• 전체 테스트 효율을 크게 향상

6. 간섭 방지 차폐 시스템

UNITEK SYSTEM의 차폐 시스템은 EMI(전자파 간섭), 스펙트럼 노이즈, 외부 광 간섭을

완전히 차단하는 폐쇄형 실드 챔버 구조를 채택했습니다.

• · 전도성 산화막 + 니켈 도금 공정 적용
  → 모든 부품 간 전도 상태를 유지하여 차폐 효과 극대화

• · 시스템 노이즈 감소 및 외부 간섭 차단
  → 저전류·미세 신호 측정에 최적의 테스트 환경 제공

• · 저누설 전류(Leakage) 보호 기능
  → 고정밀 전기 테스트 안정성 향상

• · 저온 테스트 시 결로 방지 기능
  → 웨이퍼·디바이스를 고온/저온 환경에서
  · 빠르고 안전하며 신뢰성 있게 테스트 가능

• 
  

7. 독자 개발 소프트웨어 통합 시스템 

소프트웨어 통합 플랫폼을 통해
테스트 효율·정확도·호환성을 모두 극대화한 고성능 자동화 테스트 환경을 제공합니다.

• · 세미 오토 테스트 지원(수동 or 자동 테스트 지원)

• · 자동 웨이퍼 보정, 자동 Wafer Mapping, 자동 다이 크기 측정

• · 자동 Align + 자동 테스트, 원격 데이터 접근 지원

• · RF 프로브 모듈 1-Click 자동 캘리브레이션

• · 자동 니들 클리어링 기능 포함

• · 4축 Chuck 자동 정밀 보정(원클릭)
    → 마이크론 단위 패드 포인트 측정 지원

• · 단일 포인트 테스트 및 지속(연속) 테스트 모두 가능

• · 강력한 데이터 저장·분석 기능

• · BIN 분류로 즉시 NG 판정 가능

• · 운영 시스템(OS), 애플리케이션, 디바이스 테스트 시스템을
  · 독립적으로 업그레이드 가능

• · 직관적 UI로 빠른 조작 가능 → 교육 시간 최소화

적용 분야 (Applications)

제품 사양