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PRODUCTS

Vacuum Chamber Probe station NEW GOOD

제품명 Vacuum Chamber Probe station
Microscope Magnification of microscope:0.75~5.25x, Resolution : 72~240lp/mm
Chuck Stage 4" stainless steel
CCD Camera 60 FPS,920x1080,SD card
Accessories XYZ regulator of probe arm, Shockproof table, control unit
브랜드 Unitek System Inc.
제품 문의 제품 관련 상세 문의는 메일 또는 유선 연락 요망
utcmail@naver.com/Tel. 031-777-8222
세부사항

Vacuum Chamber Probe station(베큠 챔버 프로브 스테이션)


“초저온·초정밀 반도체 소자 분석을 위한 하이엔드 프로브 스테이션”

주요 특징 (Features)

  • 4인치 캐리어 척: 80K ~ 770K 온도 범위, ±100mK 이내의 안정성, 0.1℃ 정밀 제어

  • 고정밀 프로빙 암: 최대 6개 프로브 암, X·Y·Z 방향 이동(50mm/25mm/25mm), 위치 정확도 2µm

  • Probe Drift: ±100nm/30분 이하

  • 광학 배율: 0.75× ~ 5.25×

  • 진공 성능: 누설률 < 1.3×10⁻¹Pa·m³/s, 최고 5×10⁻⁴ Pa (250L/s 분자 펌프 장착)

  • 전류 누설 정확도: 최대 100fA까지 측정 가능

  • 저온 제어: SUMITOMO 이중 압축 냉동기 & Cold Finger 적용

  • 구조 안정성: 에어 스프링 지지의 충격 방지 플랫폼


응용 분야 (Applications)

  • 저온 환경에서의 반도체 소자 테스트

  • 고정밀 저전류·저노이즈 측정

  • 신뢰성·내구성 시험 및 연구 분석



구성요소(components)
1. Vaccum cavity

이중 챔버 구조(외부 챔버와 차폐 챔버)의 진공 캐비티는 250L/s 분자 펌프를 장착해 최대 5×10⁻⁴Pa의 진공 환경을 제공합니다.
이 환경은 시료 시험 시 다음과 같은 장점을 제공합니다:

  • 저온 시험 시, 공기 중 수증기가 시료 표면에 응결되는 것을 방지하여 과전류 누설이나 프로브 접촉 불량으로 인한 시험 실패를 예방합니다.

  • 고온 시험 시, 공기 중 산소에 의한 시료의 산화를 막아 전기적 오차 및 물리적 변형을 방지합니다.

  • 또한 진공 단열 효과로 인해 효율적인 냉각 성능을 제공합니다.



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2. XYZ regulator of probe arm

프로브 암의 XYZ 조정 장치는 자가 잠금 나사 구조와 크로스 롤러 가이드를 적용하여 최대 2μm의 위치 정밀도를 구현합니다.
또한 30분 동안 ±60nm 이하의 드리프트 안정성을 유지합니다.

3축 튜브형 클램프와 고차폐 3축 케이블을 채택하여, 시험 시 100fA 수준의 초정밀 누설 전류 측정 성능을 제공합니다.


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3. 70XL microscope
70XL 현미경은 7:1 연속 줌과 0.75~5.25 배의 광학 배율을 제공하며, 최대 216배 디지털 확대가 가능합니다.
고해상도(최소 4μm) 관찰이 가능하고, 작업 거리가 89mm로 시편 조작이 편리합니다.
6.40X8.53mm(저배율), 0.91X1.22mm(고배율)의 시야를 지원하며, 강력한 150W 동축 및 링 조명, 넉넉한 Z축 포커싱(최대 50.8mm)을 갖춘 고성능 실체 현미경입니다.


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4. Temperature Control System

온도 제어 시스템은 액체질소 펌핑 속도 제어 박스와 온도 컨트롤러로 구성되어 있습니다.

온도 조절 시, 액체질소 펌프의 속도를 조정하여 냉매의 압력과 유량을 제어함으로써 정밀한 냉각을 실현합니다.
또한, 펌핑 속도 제어 박스를 통해 냉각 유량을 정밀하게 조절하고, 온도 제어 박스에서 히팅 와이어의 가열 전력을 제어하여
정밀한 저온 제어 기능을 구현합니다.

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5.Shockproof table

충격 방지 시스템은 에어 스프링 지지 프레임을 갖춘 방진 플랫폼으로 구성되어 있습니다.

에어 스프링의 형상과 재질, 스프링 챔버 및 보조 탱크 용적, 감쇠 구멍, 수평 조정 밸브 등 일련의 방진 설계를 통해
수직 고유 진동수 1.5Hz, 수평 고유 진동수 1.2Hz의 저진동 특성을 구현했습니다.

또한 최대 400kg의 하중을 지지할 수 있어, 미세한 저주파 대역 진동이 시험 결과에 미치는 영향을 효과적으로 차단합니다.

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6. Control unit

제어 유닛은 분자 펌프, 기계식 펌프, 모니터 및 제어 장치가 통합된 일체형 제어 캐비닛으로 구성되어 있습니다.

이 시스템은 간편한 조작과 유지보수, 컴팩트한 구조, 그리고 적은 설치 공간이라는 장점을 갖추고 있습니다.

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Vaccum Chamber Probe Station 성능 비교
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→ 나노 단위의 측정 정확도와 안정적인 실험 환경을 구현한 고정밀 Vacuum Chamber Probe Station.
반복 가능한 결과와 신뢰할 수 있는 데이터를 위한 최적의 솔루션입니다.